开云app手机版下载官网安装®湿Etch系统

优秀性能和弹性

微信配置设计能提高性能 提高控股成本 提高安全性弹性流体设计允许多化学卷入每个机房内联加热器可用于微温控制+++0.5°C可取式排水块和滤波可配置高效回收并引入新化学光端点检测可动态调整延时并确保精密胶片去除面向向下控制室化学并预防操作员接触

湿缓存室可与隔离面部SRD室合并处理净化应用上方SRD直接从HEPA滤波提取净空气,它辅助快速净干法,与湿伸展室隔开开云app手机版下载官网安装享受高性能安全®湿推理系统

统一度小于5%铜膜批量

UBM有效零减法可使用端点检测

开云app手机版下载官网安装单片多机房配置可配上一个或多个SRD机房

能力性

  • UBMETH
  • 金属Etch
  • 种子屏障Etch
  • exideEtch
  • 硅Etch
  • TSV净化
  • RCA-SC1净化

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